X射線成像裝備的“心臟”，是一個小小的傳感器。從醫療領域的DR、CT等設備，到工業無損檢測儀器，再到公共安全領域的安檢裝備，這個部件的性能直接影響成像速度、分辨率與成本，是現代高端裝備的“感知核心”。

“X射線成像傳感器可以將無形的X射線轉化為電信號，再經由數字化處理，形成用于診斷與判讀的清晰圖像。整體尺寸約為一張A4紙大小。”蕪湖長信科技股份有限公司研發中心總監俞良介紹。

長期以來，這類高端傳感器生產技術被國外壟斷，成為制約我國高端醫療及檢測裝備產業鏈升級的關鍵核心技術難題。長信科技聯合多所高校和企業，歷經三年協同攻堅，終于成功突破這一技術壁壘。

攀登技術高峰的道路并不平坦。“團隊在研發大面積動態X射線成像傳感器時，遇到氧化銦鎵鋅（IGZO）薄膜晶體管穩定性難題，器件長時間運行后會出現性能‘漂移’。”俞良說，這就如同傳感器的“眼睛”，蒙上了一層揮之不去的薄霧，無法滿足持續、可靠的動態成像需求。

為此，團隊日夜攻堅，經歷了無數次實驗與摸索，一個偶然的發現帶來了轉機——調整成膜腔室氧氣流量，能改善薄膜穩定性。

“之后，團隊連續多日開展高強度實驗，最終找到氧氣流量和成膜溫度的最佳組合，成功解決氧空位分布不均問題，器件穩定性得到顯著提升，傳感器動態成像需求也得到滿足。”俞良說，這一突破不僅攻克了技術難關，更增強了團隊信心和凝聚力。

經過三年研發攻關，長信科技研發團隊攻克了高分辨率像素設計、高靈敏度光電二極管開發以及關鍵工藝和設備改造等技術難題，在設計、工藝、設備等方面均實現技術突破。

“公司自主研制的X射線成像傳感器，在設計上優化氧化銦鎵鋅薄膜晶體管的寬長比和疊層結構設計，成功將像素尺寸壓縮到100微米。”俞良介紹，工藝上引入平坦層并優化成膜、黃光、刻蝕工藝，將光電二極管的開口率提高至68%以上，顯著提升了探測效率和信噪比；設備改造方面，優化了其曲率和出氣孔結構參數，使氣體在產品表面的分布更加均勻，從而實現了更均勻的成膜效果。

“這項成果成功填補了國內空白，打破了產品長期依賴進口的局面，有力推動了高端醫療設備及工業檢測裝備產業鏈的自主化升級。”俞良告訴記者，醫療領域，它已應用于數字減影血管造影等設備，為醫生提供著高分辨率、低劑量的實時動態影像，助力精準診療。工業無損檢測領域，它服務于新能源汽車動力電池檢測等，為產品質量與安全保駕護航。

展望未來，俞良表示，今后將繼續深化技術研發，優化IGZO薄膜晶體管技術，提升產品性能并拓展應用場景，同時深耕國內市場并逐步拓展國際市場，完善產業鏈布局。

X射線成像傳感器的突破，是我省科技創新攻堅計劃項目助力高端裝備產業發展的生動注腳。近年來，我省圍繞重點產業“最緊急、最緊迫”問題，系統部署并組織實施了省級科技創新攻堅計劃，在高性能零部件、高端科學儀器、高端集成電路芯片、新型顯示等領域，布局了一批項目，支持龍頭企業牽頭聯合產業鏈上下游企業、高校院所開展關鍵核心技術協同攻關，有力推動了我省裝備制造業向高端化、智能化、綠色化邁進。

2025年，在裝備制造業方面，我省布局29個科技創新攻堅項目，總投入14.83億元，其中省財政支持1.97億元，市縣財政支持0.45億元，承擔單位自籌12.41億元。企業主導的產學研深度融合機制，加速全鏈條系統性突破關鍵核心技術，著力打通束縛新質生產力發展的堵點卡點，為高水平創新型省份建設提供強力支撐。

■ 本報記者 鹿嘉惠 汪永安